11选5北京

您所在位置:贵州山川水处理  > 技术支持  > 行业标准

我国电子工业部高纯水水质试行标准

点击次数:1624 发布时间:2008-11-11

我国电子工业部高纯水水质试行标准化学指标单位:
μg/L
 

我国电子工业部高纯水水质试行标准化学指标单位:μg/L
序号 水质项目 一级高纯水指标 二级高纯水指标
1 电阻率(25℃)MΩ·cm ≥15 ≥10
2 电导率,μs/cm 0.05 0.1
3 PH值 6.8~7.2 6.6~7.4
4 细菌总数,个/mL <3 <9
5 微粒(直径>0.5μm,粒/mL) <150 <300
6 二氧化硅 <10 <20
7 有机物(以COD计) <0.3 <0.5
8 钠 Na <0.5 <2
9 铁 Fe <1 <2
10 铜 Cu <0.5 <1
11 钙 Ca <1 <3
12 镁 Mg <0.2 <1
13 锌 Zn <0.5 <1
14 锰 Mn <0.2 <0.5

说明:①一级高纯水适用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。   ②二级高纯水适用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。   ③本表按1980年电子工业部标准摘录。


 
 


上一条:我国低压锅炉水质标准     下一条:饮用净水水质标准